半导体气敏传感器工作原理和分类

发布时间:2023-11-15

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它基于半导体材料的电学性质随着气体浓度的变化而变化的原理,通过测量半导体材料的电阻值来确定所测气体的浓度。
半导体气敏传感器具有许多技术特点,可以根据其不同的特点进行分类。本文将介绍半导体气敏传感器的技术特点分类和工作原理。

一、根据材料类型分类

1、金属氧化物半导体(mos)传感器

金属氧化物半导体传感器是最常见的一种半导体气敏传感器。
它通过将金属氧化物材料(如二氧化锡、二氧化锰等)制成薄膜并与导电电极接触,形成一个半导体敏感元件。
当待测气体与敏感元件接触时,气体分子会与金属氧化物表面发生氧化还原反应,导致材料电阻的变化。通过测量电阻的变化来确定气体浓度。

2、有机半导体传感器

有机半导体传感器是一种基于有机半导体材料的气敏传感器。
有机半导体材料具有较好的导电性能和气体吸附性能。
当待测气体分子与有机半导体材料接触时,气体分子会在有机材料表面吸附,导致材料电阻的变化。
通过测量电阻的变化来确定气体浓度。

3、纳米材料传感器

纳米材料传感器是一种基于纳米材料的气敏传感器。
纳米材料具有较大的比表面积和较高的表面活性,能够提高气体分子的吸附和反应效率。
纳米材料传感器通常采用金属氧化物纳米颗粒或碳纳米管等材料制备敏感元件。
当待测气体与纳米材料接触时,气体分子会在纳米材料表面吸附,并与纳米材料发生化学反应,导致材料电阻的变化。
通过测量电阻的变化来确定气体浓度。

二、根据工作原理分类

1、氧化还原反应传感器

氧化还原反应传感器是一种基于氧化还原反应的气敏传感器。
它通过将敏感元件与气体接触,使气体分子在敏感元件表面发生氧化还原反应,导致材料电阻的变化。
传感器适用于检测可与敏感元件表面发生氧化还原反应的气体,如一氧化碳、二氧化硫等。

2、吸附反应传感器

吸附反应传感器是一种基于气体分子在敏感元件表面吸附的气敏传感器。
它通过将敏感元件与气体接触,使气体分子在敏感元件表面吸附,导致材料电阻的变化。
该传感器适用于检测可与敏感元件表面吸附的气体,如甲醛、苯等。

3、化学反应传感器

化学反应传感器是一种基于气体分子与敏感元件表面化学反应的气敏传感器。
它通过将敏感元件与气体接触,使气体分子在敏感元件表面发生化学反应,导致材料电阻的变化。
该传感器适用于检测可与敏感元件表面发生化学反应的气体,如氨气、硫化氢等。

通过以上分类,我们可以看到半导体气敏传感器具有多种技术特点和工作原理。
不同的传感器适用于不同的气体检测需求,可以根据具体的应用场景选择合适的传感器。
随着科技进步和研究的不断深入,半导体气敏传感器的性能将会不断提高,为气体检测领域带来更多应用和发展机会。